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一、基于真空探針臺的紅外探測器自動測試系統的研究:
(1)半導體制冷臺 一英寸測試臺硬件測試電路的設計:該部分主要為芯片的測試提供驅動電壓和時序激勵,同時完成像元響應電壓信號的采集與處理,同時在數據采集部分設計有單端轉差分網絡,消除共模噪聲的同時還可以增強模擬電壓信號的驅動能力。
(2)真空探針臺探針卡的設計:對于不同陣列的探測器芯片,本文中設計有與之相對應的測試探針卡,同時將偏置電壓的產生電路直接集成于測試探針卡上,偏置電壓可通過探針直接偏置到芯片上,避免模擬信號傳輸過程中受到的干擾。
(3)測試系統自動控制的實現:本設計基于VC++的開發平臺,通過RS232協議控制真空探針臺和基于FPGA的測試電路模塊,并使用Matlab完成測試數據的處理和分析,終實現對320×240和384×288系列芯片的自動選片測試。該自動測試系統實現了對非制冷紅外探測器芯片晶圓和單片的自動測試,通過響應率、噪聲等相關參數的測試結果完成對被測芯片整體性能的評估,并將測試結果以測試報告和wafermap的形式展示出來。此測試結果作為封裝之前芯片選片的重要依據,極大的縮小了紅外探測器的測試時間和封裝成本。
二、發展背景:
(1)公司以科技創新為主,服務社會為宗旨,積極設計開發新型材料制備設備,奉獻于教育和科學,經過長期的研發和不斷地技術積累,擁有熱工,制造,控制相關,為化學,物理,材料,電子,高分子工程,新材料制備和研發領域的科學研究提供了精良設備。
(2)公司通過和院校老師同學強強聯合,形成了有效的信息,技術交流平臺,為科探儀器了解市場需求提供了強有力的支持!
(3)目前公司已研發生產產品十多個系列幾十款產品,產品囊括實驗電爐、半導體制冷臺 一英寸測試臺CVD供氣系統、等離子清洗機、小型離子濺射儀、小型蒸鍍儀等,主要適用于科研院校及工礦企業在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究,廣銷于各大院校,及材料研究所。
三、應用領域:公司與國內高校,科研院所有多層次的合作關系,建有開放實驗室,相關領域的教授、高級工程師、博士參與公司產品的研究和開發。我們秉承公司的發展理念,依靠嚴謹的技術研發能力,科學合理的生產工藝,精益求精的制造要求,全心全意做好產品質量和服務工作,科探儀器時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。
溫控器 | |
加熱溫度 | 35-400℃ 注意:熱臺溫度和樣品溫度存在偏差 客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺面測量熱電阻值對應分度值做校準。 |
溫控誤差 | ±1℃ |
熱電偶類型 | PT100高精度傳感器 |
溫控表 | 宇電PID溫控器 |
程序控溫 | 1段(可選30段程序控溫表) |
加熱功率 | ≤300W |
加熱電源 | AC220v |
尺寸 | 230x230x125MM |
重量 | 6kg |
真空探針熱臺 | |
腔體材質 | 304不銹鋼 |
加工方式 | 一體式CNC精加工 |
內腔體尺寸 | 137X57X21mm 容積165ML |
加熱臺尺寸 | Φ35mm |
觀察窗內徑 | Φ45mm |
觀察窗材質 | 高透光石英玻璃 |
信號輸出頭 | SMA母頭 配線 SMA轉BNC 1.5米 |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
抽氣口 | KF16 |
進氣口 | 6MM卡套 |
使用正壓 | ≤O.05MPa |
使用負壓 | 機械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa |
可擴展配件 | 氣體液體注射口 4芯電信號接頭 8芯電信號接頭 SMA905 光纖接口 擴展5KV高壓電極 升級30段控溫儀表 |
移動探針 | |
探針規格 | 探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm |
上下移動距離 | 2.5mm |
前后移動距離 | ±10mm |
左右旋轉距離 | 120° |
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