| 品牌 | 鄭科探 |
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真空探針臺KT-Z160TZ主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區分有：手動，半自動，全自動從功能上來區分有：溫控探針臺，真空探 針臺(低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成
高低溫真空 探針臺應用：
可應用于低溫或高溫真空環境下被測樣品的電學性能測試分析，如：半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學研究領域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。
· 結構緊湊，適用于各種變溫測試
· -196℃~400℃（配液氮致冷模塊）
· 氣密腔室設計，可通保護氣氛
· 4探針，手動定位（可擴展為6個）
· 支持改動或定制
真空探針臺KT-Z160TZ參數
真空腔體 | |
腔體材質 | 304不銹鋼 |
上蓋開啟 | 鉸鏈側開 |
加熱臺材質 | 304不銹鋼 |
內腔體尺寸 | φ160x90mm |
觀察窗尺寸 | Φ70mm |
加熱臺尺寸 | φ60mm |
觀察窗熱臺間距 | 75mm |
加熱臺溫度 | ﹣196~400℃ |
加熱臺溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正壓 | ≤0.1MPa |
真空抽氣口 | KF25真空法蘭 |
氣體進氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
電信號接頭 | SMA轉BNC X 4 |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
探針數量 | 4探針 |
探針材質 | 鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動平臺 | |
X軸移動行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.01mm |
Y軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.01mm |
Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡 |
物鏡倍數 | 0.7-4.5倍 |
工作間距 | 90mm |
相機 | sony 高清 |
像素 | 1920※1080像素 |
圖像接口 | VGA |
LED可調光源 | 有 |
顯示屏 | 8寸 |
放大倍數 | 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
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